精密百级无尘烤箱｜高端电子制造洁净热工艺解决方案

在摄像头模组AA制程、OLED面板PI固化与半导体先进封装等高端制造环节，传统工业烤箱已难以同时满足“百级洁净、±1 ℃级温度均匀性、>20 ℃/s 热变率”这一复合指标。世豪精密无尘烤箱经多轮迭代，它不仅是一个加热设备，更是一个可编程、可追溯、与智能产线无缝集成的在线式洁净热处理工作站。

产品优势

1. 洁净与温控：工艺可靠性的双重保障

百级无尘加热腔体：采用垂直层流（FFU）或循环风过滤设计，内部洁净度动态维持ISO 5（百级），静态可达ISO 4（十级），从源头杜绝热加工过程中的微粒污染。

多温区独立精密控制：加热腔沿传送方向分为多个独立温区，每个温区由独立PID模块控制，确保产品在移动过程中经历精准、稳定的预设温度曲线，消除传统单温区烤箱的“入口低温、出口高温”现象。

高效热风循环与快速水冷：特殊设计的风道与高性能离心风机，确保在百级洁净环境下仍能实现±1.0℃的温度均匀性。集成高效板式水冷换热器，可在完成高温工艺后实现>5℃/min的快速降温，大幅缩短生产节拍，提升产能。

2. 智能化与集成：生产管理的数据抓手

全自动在线式运行：集成自动上下料接口，实现与前后段设备的无缝衔接，满足连续生产需求。

全面的数据追溯：设备实时记录各温区温度、风机频率、压力、运行状态等所有参数，数据可通过SECS/GEM或OPC UA协议上传至工厂MES系统，为每一批次产品建立完整的“热工艺档案”。

配方与权限管理：海量配方存储，支持一键调用。多级操作权限管理，防止工艺参数被误改，确保生产一致性。

应用场景详解

1.摄像头模组自动对焦（AA）制程

• 工艺挑战：镜头与传感器主动对准后的UV胶固化，需要在高洁净环境中完成，以防止灰尘落在传感器或镜头上形成永久缺陷。同时，固化温度与均匀性直接影响对准精度保持。

• 解决方案：百级无尘环境，保障在胶水固化这一敞开环节的洁净度；多温区设计实现精准控温，确保胶水经历平缓、均匀的固化温度曲线，避免热应力导致微小的对准偏移；作为AA产线的一环，接受上位机指令，自动完成固化，实现全流程自动化。

2.OLED显示面板制造（PI固化、封装烘烤）

• 工艺挑战：聚酰亚胺（PI）浆料涂布后需要高温固化，其固化均匀性直接影响薄膜的应力与平整度，进而决定显示均匀性。封装胶的烘烤同样要求低污染和精准温控。

• 解决方案：卓越的腔体温度均匀性（±1.0℃），确保大尺寸基板（如G6代线）上每一点的PI固化条件一致；快速升温至固化温度，固化结束后快速冷却，满足高节拍生产需求，同时减少热历史对玻璃基板的影响；洁净环境防止烘烤过程中有机挥发物再凝结形成微颗粒，污染面板。

3.系统级封装（SiP）与芯片级封装

• 工艺挑战：底部填充胶（Underfill）、塑封料（Molding Compound）的固化工艺窗口窄，对温度极其敏感。温度不均或波动会导致固化程度不一，引发翘曲、空洞或界面分层等可靠性问题。

• 解决方案：多温区精密曲线，精确模拟并执行材料供应商推荐的“升温-保温-降温”全流程温度曲线；数据追溯性，完整记录每一托产品的实际固化温度曲线，为后续可靠性测试提供关键工艺数据，实现工艺与质量联动分析。设备长期运行的稳定性，是保证大批量生产封装体质量一致性的基础。

服务流程

我们理解采购新设备是一项重大投资。为此，我们提供透明的合作路径：

1. 工艺可行性验证：欢迎寄送样品至我司净化热工艺实验室，进行免费初步烘烤测试，验证设备能力。【获取方案】

2. 定制方案与详细报价：基于您的产能（UPH）、产品尺寸、工艺配方，提供详细的设备配置方案与报价。

3. 工厂验收测试（FAT）：设备出厂前，邀请您或您指定的第三方现场见证关键性能（洁净度、温均性、升温速率等）测试，确保符合协议要求。

4. 现场安装与工艺调试（SAT）：工程师上门安装，并使用您的实际材料进行工艺调试，直至达到量产要求。

5. 长期支持：提供操作与维护培训，建立设备档案，提供备件支持与预防性维护计划。